创元科技子公司苏净仪器进军光刻机核心领域 受访称技术达国际先进水平

创元科技在互动平台回应投资者提问时表示，其全资子公司江苏苏净旗下的苏净仪器是国内领先的颗粒计数生产企业，产品应用于光刻机核心配套设备领域，可监测光刻胶纯度及微小颗粒，保障光刻工艺稳定性，并在20nm技术节点实现批量供货。公司强调将持续提升技术实力，推动高质量发展。