奥普光电：超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目

奥普光电表示，其正在研发的超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪属于国家重点研发计划项目，目标是研制出原理样机及工程样机，但目前尚未形成产品。对于是否能用于DUV光刻机的问题，公司未给出明确答复。