光刻机产业链，最正宗的9家公司

奥普光电（002338）作为光刻机精密机械与控制系统环节的核心企业，其超精密光栅编码器定位精度达0.08nm，应用于上海微电子双工件台，技术对标ASML的RENISHAW编码器，精度差距缩小至10%以内。公司是SMEE（上海微电子）的重要供应商，国产替代价值显著，属于光刻机产业链中精密机械环节的关键突破企业。