北方华创半导体设备专利再突破，晶圆支撑技术提升良品率

北方华创微电子装备有限公司公布了‘晶舟结构、半导体热处理设备及其控制方法’专利，该技术通过可调节的晶圆支撑结构，在不同工艺温度下灵活调整支撑点数量，既能避免晶圆滑移缺陷，又能减少颗粒污染，可提升半导体制造良品率。