北方华创再添核心技术专利！半导体设备温控精度实现重大突破

北方华创旗下微电子装备公司申请了‘温度控制方法、装置及半导体工艺设备’专利，通过精准调控加热与降温装置，提升半导体设备温区控制精度。该技术可增强设备工艺稳定性，强化公司在半导体制造装备领域的技术壁垒。