北方华创半导体设备物料传输专利公布

2025年3月21日，北京北方华创微电子装备有限公司公布“用于传输物料的方法、半导体工艺设备及存储介质”专利（申请公布号CN119673834A）。该专利通过使用包含可单独控制的两个物料取放部件的机械手传输物料，打破了仅可采用五指或单指机械手进行传片的局限。