【经营】北方华创ALE原子层刻蚀设备已实现多项工艺应用

有投资者就ALE原子层刻蚀工艺设备相关情况向北方华创提问，公司回应称其ALE设备已实现多项工艺应用。

该设备核心原理为以单原子层为单位，通过“表面吸附—反应去除”的分步循环反应，逐层精准去除材料表面原子，可实现高精度、高均匀性且低损伤的刻蚀过程。