【经营】北方华创回应投资者:臭氧水清洗与传统清洗技术并非单向替代
2026-08-11
今日有投资者就公司臭氧水清洗设备在先进制程上的优势向北方华创提问。公司回应表示,随着半导体制程持续演进,器件结构与材料体系日趋复杂,清洗技术路线呈现多技术协同、分场景适配的特征,臭氧水清洗与传统RCA清洗、SPM清洗并非单向替代关系。
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