【市场】北方华创回应技术路线比较,强调综合判断
2026-08-11
北方华创在互动平台回答投资者提问,表示在原子层沉积工艺中,臭氧与水蒸气技术路线在氧化机制、工艺特性与适用场景上各有侧重,具体选型需综合判断。
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