【经营】北方华创披露HARP工艺技术特性及核心部件配置逻辑

2026年9月24日，北方华创通过交易所官方互动平台回复投资者提问，明确HARP工艺为基于臭氧-TEOS体系的热CVD工艺，采用无等离子体热反应机制，在高深宽比结构间隙填充与保形覆盖方面表现优异，适用于特定介质填充场景；同时回应臭氧发生器作为关键反应气源由配套设备提供，整机工艺能力依赖多模块协同实现，并非由单一部件决定。