【经营】北方华创发布首台12英寸微波ECR等离子体刻蚀设备

北方华创发布首台面向先进工艺节点的12英寸微波ECR等离子体刻蚀设备Acme Helix430。

该设备采用自主研发的微波ECR等离子体技术，同步获得高密度等离子体与超低离子轰击能量，显著降低刻蚀离子损伤，适配浅沟槽隔离、栅极刻蚀等核心工艺。

该设备与公司现有ICP和CCP刻蚀设备形成技术路线互补，进一步丰富了公司在等离子体刻蚀领域的产品谱系，是北方华创拓展先进工艺节点刻蚀市场的重要一步。