凯美特气获ASML认证！光刻气突破点燃半导体材料新引擎

凯美特气控股子公司凯美特电子特种稀有气体有限公司的光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证；公司主营环保气体回收业务，产品包括高纯食品级二氧化碳等，并入选工信部专精特新小巨人企业；电子特气在半导体工艺中至关重要，其纯度直接影响芯片性能与良率，技术门槛极高。