凯美特气特种气体应用国产光刻机突破迎利好

全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"研发成功，精度达0.6nm，专攻量子芯片和半导体研发。国家第三代半导体技术创新中心在氮化镓/碳化硅领域取得突破。凯美特气作为特种气体制造商，其产品直接应用于光刻工艺，将受益于光刻机国产化带来的特种气体需求增长和进口替代进程加速。