英特尔前CEO携1.5亿美元助力光刻新光源

英特尔前CEO帕特·基辛格在离职后于2025年3月加入光刻技术初创公司xLight，担任执行董事长。2025年7月，xLight完成B轮融资，基辛格同时以执行董事长和投资人身份参与。近日，基辛格牵头促成了美国联邦激励资金，xLight凭借《芯片与科学法案》获得了1.5亿美元联邦资金支持。该公司计划研发基于自由电子激光器的新型EUV光源，据称效率将远超传统方案。

基辛格表示，打造能效提升十倍的高效EUV激光器将开启摩尔定律新时代，提升晶圆厂产能并构建美国本土技术能力。不过，xLight仍面临挑战，包括需与阿斯麦现有EUV设备集成，以及FEL光源在制造场景下的实用性不确定性。