【经营】中瓷电子陶瓷加热盘获批量应用,静电卡盘通过头部验证
2026-07-13
公司开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证,已批量应用于国产半导体设备中;静电卡盘产品已通过国内头部半导体设备公司上机验证。
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