机器人：公司在半导体装备业务方面产品包括大气机械手

机器人公司以自主研发为核心，与科研院所、高校及战略合作伙伴保持技术交流，为汽车、3C、航空航天、半导体等20余个行业的头部企业提供机器人与智能制造综合性解决方案。在半导体装备业务方面，提供大气机械手、真空机械手、EFEM、真空传输平台等产品，应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节。