新松半导体真空机械手技术实现自主突破并超越国外

沈阳新松机器人自动化股份有限公司旗下新松半导体公司拥有真空类和大气类晶圆传输系列产品的完全自主知识产权，自主攻克的新一代真空机械手技术性能对标并部分超越国外先进产品，产品包括大气机械手、真空机械手系列、EFEM、真空传输平台等，可服务于半导体制造全产业链。目前两轴、三轴真空直驱机械手已导入终端FAB厂先进制程产线示范应用，四轴完成研发，真空传输平台系列产品通过验证并批量导入FAB厂，大气类产品全面导入市场量产应用，零部件开始模块化及标准化定型。