机器人：公司半导体装备产业化应用已初具规模，自主开发的产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台

同花顺金融研究中心报道，投资者询问机器人子公司新松半导体在半导体行业的领先技术和产品。公司回应称，新松半导体已实现半导体装备产业化应用，主要产品包括大气机械手、真空机械手、EFEM和真空传输平台，并正在进行技术迭代与升级，如优化设计结构以提高晶圆搬运效率和更新控制系统软件以提高传输精度。