机器人：公司半导体装备产业化应用已初具规模

沈阳新松半导体设备有限公司的半导体装备产业化应用已初具规模，真空类产品如两轴真空直驱机械手已批量进入终端FAB厂；三轴真空直驱机械手小批量进入终端FAB厂进行验证；四轴真空直驱机械手开始在设备客户端进行验证。