【经营】鼎龙股份高端光刻胶与静电卡盘项目投产

3月20日，鼎龙股份年产300吨高端晶圆光刻胶项目与湖北芯陶静电卡盘项目联合投产仪式在武汉经开区举行。鼎龙股份此次投产的项目聚焦ArF/KrF高端晶圆光刻胶，产品覆盖国内晶圆厂全制程技术节点，可满足逻辑与存储芯片的全品类需求，实现了从核心原料到成品的全链条自主制造。

同步投产的湖北芯陶静电卡盘项目，产品适配7nm及以下先进制程，并成功自主研发了与机台通讯协议，使国产卡盘可被国际主流机台无缝识别。