【经营】聚光科技子公司新产品7350系列质谱仪性能大幅提升并批量交付

聚光科技在互动平台表示，子公司谱育科技于今年3月发布的7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）已开始批量交付。该产品在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等方面实现大幅提升，针对半导体领域样品的检出能力稳定在sub-ppt水平，能覆盖半导体全场景超痕量检测需求，支持先进制程的工艺规格与材料认证。