【经营】聚光科技:已构建高纯化学品痕量杂质分析整体解决方案
2026-07-23
聚光科技子公司谱育科技的EXPEC 7350系列ICP-MS/MS设备具备AI自动调谐、AI基线校正、AI干扰消除等智能功能。已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系。这标志着公司在半导体材料分析领域取得重要进展。
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