【经营】聚光科技ICP-MS/MS设备构建半导体关键材料痕量检测整体解决方案

公司子公司谱育科技的EXPEC 7350系列三重四极杆ICP-MS/MS设备已通过SEMI S2认证，可应用于半导体高纯材料检测。目前该设备已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系。