【观点】LSA技术引领制程变革，光韵达有望受益

激光尖峰退火（LSA）技术因极致的热预算控制能力，正从FinFET时代的性能优化工具升级为GAA/CFET时代的结构实现基础，成为半导体先进制程变革的关键。

光韵达作为激光精密加工的“隐形冠军”，在半导体激光加工设备方面持续投入，有望将其技术能力扩展到LSA设备领域。分析认为，随着2nm及以下制程的推进，A股相关产业链公司迎来历史性机遇，但需关注技术路线和市场竞争风险。