上海新阳确认拥有多种抛光液产品，覆盖14nm及以上制程

上海新阳在投资者互动平台回应称，公司已开发出覆盖14nm及以上技术节点的晶圆制造用化学机械研磨液，包括浅槽隔离研磨液、金属钨研磨液、金属铜研磨液、硅氧化层研磨液和多晶硅层研磨液等系列产品。