国内EUV光刻胶迎突破 上海新阳布局研发初期
2025-10-28
国内首个EUV光刻胶标准已立项,为高端光刻胶产业发展提供支撑;近期国内EUV光刻胶领域取得多项技术突破;上海新阳在2024年度业绩说明会上表示,EUV光刻胶是公司光刻胶布局的重要研发方向之一,目前处于研发初期阶段
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