上海新阳披露多款光刻胶已规模化销售
2025-12-19
上海新阳在官方互动平台中披露,公司已开发包括I线、KrF、ArF干法及浸没式光刻胶在内的多种集成电路制造用光刻胶,并已形成规模化销售。
公司未在回复中具体披露各品种的产能数据及EUV光刻胶的研发进度。
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