【观点】上海新阳ArF光刻胶中试推进并合作研发EUV技术,行业国产替代加速
中研网
2026-06-11
中研网于2026年6月11日发布的行业深度分析指出,上海新阳在光刻胶领域取得两项关键进展:ArF干法光刻胶中试顺利推进,同时联合上海微电子开发EUV底层技术。报告强调,当前光刻胶行业正从'能做'向'好用'跃迁,高端产品国产替代空间广阔,政策与需求双重驱动下,具备技术储备的企业有望受益。
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