晶盛机电12英寸碳化硅衬底中试线正式通线
2025-09-26
晶盛机电子公司浙江晶瑞SuperSiC首条12英寸碳化硅衬底加工中试线于9月26日正式通线,实现从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发,100%国产化。
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