晶盛机电碳化硅技术突破引机构关注

聚鸣投资调研信息显示，晶盛机电在碳化硅衬底加工领域取得重要突破。

公司首条12英寸碳化硅衬底加工中试线已实现全线设备自主研发和100%国产化，覆盖切割到检测全流程。

目前6-8英寸衬底规模化量产，8英寸技术国内领先，并获得国际客户批量订单。半导体装备方面，12英寸硅外延设备已交付，其他设备正推进验证和推广。