晶盛机电交付12英寸碳化硅外延设备
2025-12-24
晶盛机电于2025年12月24日宣布,其研发的12英寸单片式碳化硅外延生长设备已成功交付给碳化硅外延晶片生产商瀚天天成。
该设备可兼容8英寸和12英寸SiC外延生产,使用的12英寸衬底由浙江晶瑞SuperSiC提供。
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该设备可兼容8英寸和12英寸SiC外延生产,使用的12英寸衬底由浙江晶瑞SuperSiC提供。
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