【经营】晶盛机电披露碳化硅及半导体装备业务进展
2026-05-29
晶盛机电在投资者关系活动中介绍了多项业务进展。碳化硅衬底材料方面,实现12英寸晶体生长技术突破,8英寸产品获批量订单,光学级碳化硅衬底实现量产。
产能布局上,加速年产60万片8英寸SiC衬底项目投产,并启动马来西亚工厂建设。
半导体装备业务中,12英寸外延设备实现销售,超快紫外激光开槽设备填补国内空白,减压外延生长设备取得复购。
此外,氮化硅陶瓷基板产线量产打破国外垄断,石英坩埚业务市占率持续领先。
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产能布局上,加速年产60万片8英寸SiC衬底项目投产,并启动马来西亚工厂建设。
半导体装备业务中,12英寸外延设备实现销售,超快紫外激光开槽设备填补国内空白,减压外延生长设备取得复购。
此外,氮化硅陶瓷基板产线量产打破国外垄断,石英坩埚业务市占率持续领先。
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