2025年半导体设备零部件行业专题报告：自主可控向上游深化，半导体零部件有望复刻设备成长（附下载）

报告分析了半导体零部件产业受益于国产化浪潮，强调其在芯片产业链上游的重要性。随着美国等国家对中国大陆先进制程芯片制造能力的限制加剧，国内晶圆厂在28nm以下制程扩产的设备、零部件国产化率快速提升。半导体零部件作为产业链重要一环，受益于自主可控大趋势。特别是在气体/液体/真空系统类零部件方面，提到晶盛机电是该领域的重要参与者之一。