苏大维格拟5.2亿控股常州维普 加码直写光刻

9月1日晚间，苏大维格公告拟以现金方式收购常州维普半导体设备有限公司不超过51%的股权，收购完成后预计实现控股，交易对价预计不超过5.20亿元。常州维普是江苏省专精特新“小巨人”企业，主营光掩模缺陷检测设备和晶圆缺陷检测设备，产品已进入国内头部晶圆厂和国内外头部掩膜版厂商量产线。苏大维格深耕微纳光学材料及设备，自主研发激光直写光刻机等，此次收购旨在利用常州维普的客户资源减少开发成本和验证周期，同时双方在光学系统、精密运动控制平台与核心算法、软件系统等方面优势互补，增强直写光刻领域研发实力，加快国产替代进程。