光刻机产业链，最正宗的9家公司

光刻机产业链中，苏大维格作为9家核心公司之一，其技术突破主要体现在光刻机定位光栅良率提升至88%，独家供应上海微电子（SMEE）光刻机对准系统，替代德国Heidenhain同类产品，成本降低40%。这表明公司在光刻机关键零部件国产替代方面取得了显著进展。