南大光电EUV光刻胶项目进入中试阶段

上海发布首批中试平台示范名单，含光刻胶及原材料中试平台。南大光电国内首条25吨ArF光刻胶生产线已建成并完成核心设备国产化适配，2025年规划建设50吨EUV光刻胶中试线，其承担的国家02专项EUV光刻胶项目已进入中试阶段。