南大光电400吨电子特气项目环评公示

近日，全椒南大光电材料有限公司年产400吨磷烷联产5000吨次磷酸钠项目进行环境影响评价第一次公示。该项目位于安徽全椒县经开区，分两期建设，一期建成后年产200吨磷烷联产2500吨次磷酸钠，二期投产后总产能达年产400吨磷烷联产5000吨次磷酸钠。磷烷是半导体制造关键电子特气，用于N型掺杂、外延生长等工艺，其纯度直接影响芯片电学性能。南大光电围绕前驱体材料、电子特气和光刻胶三类核心电子材料布局，是国内电子材料领军企业，掌握关键半导体材料核心技术，拥有多个研发生产基地，获国家级“专精特新”小巨人等荣誉。