南大光电跻身国内半导体光刻胶量产阵营

近日北京大学团队通过冷冻电子断层扫描技术解析光刻胶分子微观结构，该技术可精准调整参数缩短高性能光刻胶研发周期；全球半导体光刻胶市场被美日垄断，南大光电是国内少数实现半导体光刻胶量产的企业之一。