南大光电ArF光刻胶供货进展 电子特气进口替代

南大光电作为国内光刻胶龙头，其ArF光刻胶通过中芯国际等头部晶圆厂验证，进入小批量供货阶段，技术差距缩小。
公司布局EUV光刻胶预研，电子特气领域磷烷等产品实现进口替代，适配协同需求。
依托长三角优势推进光刻胶产线扩产，产能逐步释放，提供稳定材料供应。