【经营】南大光电回应技术路线:聚焦ArF与KrF光刻胶,未涉EUV研发
2026-10-26
有投资者以南大光电一项“光催化无氯合成四(二甲氨基)锡的方法”专利为依据,推测公司已布局DUV或EUV产品。
公司10月26日明确回应,现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶的研发和产业化,未开展EUV光刻胶的研发。
该回应界定了公司光刻胶业务的实际技术路线与研发边界。
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公司10月26日明确回应,现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶的研发和产业化,未开展EUV光刻胶的研发。
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