【经营】半导体装备控制系统国产化方案亮相展会并量产交付

东土科技在CSEAC2026展会上，重磅展示了面向半导体装备的国产化控制系统整体解决方案。其方案基于鸿道实时操作系统与MaVIEW控制平台，创新采用“实时-非实时”硬件虚拟化混合架构，实现了1毫秒级的高速数据交互和50微秒级的循环周期，并从硬件层面实现逻辑、运动、视觉、AI推理的集成，显著降低机柜体积。该方案已与国内头部半导体装备企业深度合作，完成数百台设备量产交付，覆盖刻蚀、清洗、固晶等核心工艺机台，旨在攻克行业“卡脖子”难题。