中泰股份具备高纯气体量产能力 应用于光刻制程

中泰股份在投资者关系平台答复称，公司具备制取氪氖氙氦等稀有气体及高纯电子保护气的装置和核心设备业绩，精制氪氙气体运营项目已生产出合格的氪氙气体，具备向市场提供大量优质高纯/超纯气体的能力，可应用于光刻、刻蚀、沉积等制程。