【经营】赛微电子称MEMS平台自主可控并实现多器件量产

赛微电子在互动平台回应投资者提问时表示，公司已成功在国内建立了拥有完整自主知识产权的MEMS基础工艺平台。

目前该平台已实现硅麦克风、BAW滤波器、微振镜、超高频器件等产品的量产，并正在小批量试产MEMS气体传感器、生物芯片等更多器件，未来将继续以关键制造平台角色推动我国MEMS产业的自主化与高端化。