【经营】精测电子子公司推出LSCC同轴系列3D光谱共焦线扫传感器

精测电子子公司精一微全新推出LSCC同轴系列3D光谱共焦线扫传感器，实现国产自主可控。该产品采用同轴光路设计，消除阴影和盲区，兼容全材质，具备亚微米级精度（Z轴重复精度50nm）和高扫描速率（最高10000线/秒），可广泛应用于半导体晶圆、TGV玻璃通孔、精密制造等场景。新产品打破海外品牌在高端同轴线光谱传感器领域的垄断，是精测电子“光机电算软”一体化技术平台的重要成果。