【经营】上海精测第100台电子束量检测设备出货，国产替代再进阶

上海精测半导体技术有限公司于2026年7月27日实现第100台电子束量检测设备出货，标志着国产高端半导体装备国产替代取得重要进展。设备核心部件100%自研自产，已覆盖晶圆缺陷检测、关键尺寸量测等场景，批量入驻国内主流晶圆厂，国产市占率稳居行业前列。