【经营】精测电子子公司携前道量检测设备亮相2026湾芯展

10月14日-16日，2026湾区半导体产业生态博览会在深圳举办，精测电子集团子公司上海精测半导体携前道制程量检测设备系列精彩亮相。

展会现场，上海精测半导体多款成熟量产主力机型同步登场，涵盖膜厚量测系统、OCD量测设备、电子束量检测系统等。同时，eMetric 2000 Series电子束线宽量测设备、BFI 200 Series明场有图形晶圆缺陷检测设备、Vega 500 Series无图形晶圆缺陷检测设备等今年全新自研先进设备惊艳亮相，进一步补齐先进制程前道量检测产品版图。

上海精测半导体现已基本覆盖集成电路制造过程中所有关键工艺环节所需的主要设备产品组合，能够为不同类型客户提供全面覆盖的检测和量测设备供应保障。