上海光刻胶中试平台落地 晶瑞电材多技术路线布局

上海发布首批中试平台示范名单含光刻胶及原材料领域，加速科技成果产业化；晶瑞电材是国内唯一同时拥有g线/i线、KrF光刻胶并进行ArF光刻胶中试的企业，其KrF光刻胶通过中芯国际验证用于成熟制程（55nm以上）。