晶瑞电材光刻胶业务多点开花进口替代提速

2025-11-25

晶瑞电材i线光刻胶已大规模供货，覆盖国内大部分晶圆厂成熟制程需求。

**KrF光刻胶通过多家客户验证，进入小批量供货阶段**，ArF光刻胶研发积极推进。

配套高纯试剂（双氧水、氨水等）实现进口替代

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晶瑞电材光刻胶业务多点开花 进口替代提速