捷佳伟创获镀膜设备专利,多重工艺无缝切换技术助力光伏装备升级
2025-04-19
深圳市捷佳伟创新能源装备申请了名为'边缘钝化镀膜反应室结构及钝化设备'的专利,该专利通过特殊电极板设计实现电池片顶平面均匀镀膜,并支持ALD、PECVD、退火工艺在同一次工作环境无缝切换,提升生产效率和工艺兼容性。
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