捷佳伟创再获清洗设备专利,研发投入加速技术壁垒
2025-05-17
捷佳伟创获得实用新型专利授权‘一种硅片镀膜载具清洗设备’,该设备通过双清洗系统设计解决清洗不均匀问题。2025年至今已获43项专利,同比增43.33%;2024年研发费用达6.49亿元,同比增38.94%。
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